洁净室：空气悬浮粒子浓度受控的专用空间，其建造和使用方式使区内进入的、产生的、滞留的粒子最少，区内温度、湿度、压力等其他相关参数按要求授控。
粒 径（particle size）给定的粒径测量仪器所显示的、与被测粒子的响应相应的球形体直径。目前尘埃粒子计数器经常用到的粒径大小主要有0.3μm,0.5μm,5.0μm,0.1μm,0.7μm,1.0μm,2.0μm等等。
粒子浓度particle concentration,单位体积空气中的粒子个数，如个/立方米（个/m3）,个/立方英尺（个/ft3），个/升（个/L）等等。在用尘埃粒子计数器检测空气洁净度等级时，首先需要将仪器显示的粒子浓度单位与比较用单位相统一，一般来讲，粒子浓度越高，洁净度等级越低低
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